ae pinnacle plus+ 10k脉冲直流电源

pinnacle® plus 系列advanced energy (ae) 的 pinnacle® plus 电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，pinnacle plus 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异。优势:
●更高的沉积率与产品率
●薄膜均匀性和品质一流 
●成弧造成的基材损坏减少 
●成本更低
●系统整合容易
●极佳的工艺灵活性和宽容度
●重复性能
●在过度曲线上运行稳定
●吞吐量更高
●便于监控
●无与伦比的系统灵活性特点:
●一个紧凑型封装
●频率调节范围为 5-350khz
●占空比高达45%
●电压范围宽——单输出宽阻抗范围 
●大功率运行
●基材温度低
●单输出（5kw 和 10kw 型号）
●用于双阴极生产的双输出（双路5kw 型号）
●绝佳的弧控制
●反应性溅射闭环控制规格：
●输出功率：5kw单输出、5kw双输出、10kw单输出
●电压范围：325-650vdc，可选325-800vdc输出（宽z）
●输出功率接头：五个终端、din压缩接头；最大电线尺寸：＃6 awg
●输出接头：两个终端、多个触点、带有应力释放功能的可插入式接头或uhf接头
●最大电流：
15.4adc；15.4adc/输出；30.8adc
●频率：5到350khz，可变
●反向电压：工作电压的10%
●点火功能：最大1500vdc，正常1350vdc
●调节模式：功率、电压或电流
●交流线电压：200/208、400或480vac
●电流：5kw：200/208vac：标称值17a/φ
400vac：标称值8.5a/φ
480vac：标称值7.5a/φ
5kw双输出/10kw单输出200/208vac：标称值35a/φ
400vac：标称值17a/φ
480vac：标称值15a/φ
●尺寸：133×483×639mm（高×宽×长）
●重量：5kw：
21.4kg；5/5、10kw：30kgpinnacle® plus 5kw、5/5kw、10kw