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1、设备名称：aton 1600 真空磁控溅射镀膜线
2、产地：美国应用材料公司
3、功能：该系统专门针对光伏太阳能所需要的sin层镀膜设计，分为7个真空室：进料室、缓冲室、传输过渡室、溅射室1+溅射室2、传输过渡室、缓冲室、出料室。系统整体设计严格，采用分子泵高真空机组，配备高溅射效率的平面靶或旋转靶，采用直流溅射。
设备也可以应用在ito膜、sio2膜、金属膜，应用于如太阳能、low-e、led等行业。
4、简要介绍：
4.1、主体结构：7组真空箱体，连续式
4.2、真空泵组：分子泵、高真空系统
4.3、溅射部分：4个阴极溅射
4.4、工件尺寸：1600*800最大尺寸
4.5、配套设施：外围所需配套齐备
4.6、控制方式：全自动过程及工艺控制
