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主要参数:
测量范围： x=1000mm y=1500mm, z=700mm
最大通过宽度： 1325 mm
最大通过高度： 865 mm
分辨率： 0.1 Microns
测量精度：
l | MPEe (µm) = 2.8+ L/300 (L in mm) MPEp(µm) = 2.8 Linear speed of axes movement |
18m/min |
单轴移动速度 | ||
l | 三维速度 | 520 mm/sec |
l | 三维加速度 | 1500 mm/sec*2 |
