技术参数
X 轴 (驱动部)
测量范围: 50mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 线性编码器
驱动速度: 0 - 20mm/s
测量速度: 0.02 - 5mm/s
移动方向: 向后
直线度: 0.2μm / 50mm
定位: ±1.5° (倾角、有DAT 功能)
30mm (向上／向下)
检测器
范围／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm
检测方法: 无轨／有轨测量
测力: 4mN 或 0.75mN (低测力型)
测针针尖: 金刚石、90o / 5μmR
(60o / 2μmR: 低测力型)
导头曲率半径: 40mm
检测方法: 差动电感式
控制器
显示: 7.5" 带背光的TFT 彩显
打印机: 内置热敏打印机
放大倍率: 水平: X10 至 X500,000、自动
垂直: X0.5 至 X10,000、自动
驱动装置的控制: 通过操纵杆手动手柄的操作