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该高温抗氧化涂层炉分为沉积室和蒸发室,将基体材料(石墨或炭/炭)放置于沉积室,将前躯体(NaCl、ZrCl4等)放入蒸发室,前驱体在蒸发室通过加热气化后,从高温连接管道进入沉积室,沉积到基体形成涂层,提高材料抗氧化能力。
技术特征
n 该高温抗氧化涂层炉分上下双室,独立的控温区域,分别控制沉积温度和蒸发温度;
n 可控制蒸发室的温度,来控制涂层的速度和时间。也可在蒸发室上加装精密送粉装置,通过定量向蒸发室导入前躯体,来控制沉积的速度和时间;
n 采用特殊的高温联接技术,前驱体气化后在管道不冷凝,不堵塞;
n 该高温抗氧化涂层炉配置专属密封马弗,产品产生的副产物对加热器及绝缘材料等的污染小;
n 该高温抗氧化涂层炉配置高效尾气处理装置,环境友好,易清理。

