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最近在测一些数据，要求精度至少在1um以内，现在自己了解到的关于一些测量的工具如游标卡尺、深度尺、高度尺、百分表、塞尺也就在0.01mm的精度，内径、外径千分尺可以达到0.001mm但是在一些场合用他们来测量的话碍于结构形式不能实现，而千分表的话则对于多次测量需要找一个基准做参考，且主要用来测跳动的居多。现在机床上精度用的比较高的测量装置就是光栅尺，然而它不能像卡尺这样用着随心应手，再者一些比较高端的测量工具如激光干涉仪等一些光学测量元件其价格昂贵。 各位在实际测量一些微米级或者精度更高的尺寸时，用的是什么测量工具？ 望各位能指点一二。谢谢。如测量直线导轨， 滑块的测量与导轨侧面的距离要求精度微米级以内。
